產品簡介：
EVG GEMINI是一款全自動多腔室晶圓鍵合工藝平臺，實現了高程度的集成度和自動化，適用于大型量產。
主要特點及參數：
·最大支持12英寸（300mm）晶圓
·最多兼容4個鍵合腔室和6個預處理腔室
·兼容底部對準、紅外對準以及SmartView對準
·可選配模塊：
低溫等離子體活化
晶圓清洗
涂膠模塊
UV固化模塊
烘烤/冷卻模塊
對準驗證模塊
北京
電話：010-84799262/63/64
地址：北京市朝陽區酒仙橋路14號兆維大廈6層616室
上海
電話：021-64849376 64843544 64757289
地址：上海市徐匯區漕寶路103號自動化儀表城1101室
西安
電話：029-62860558
地址：陜西省西安市太白南路上上國際1215室
深圳
電話：0755-26508560/70
地址：深圳市南山區武漢大學深圳產學研大樓B213
成都
電話：028-87565857
地址：成都市錦江區東大街芷泉段6號時代1號35A08#
山東
電話：0632-5976069
地址：山東省滕州市北辛街道翔宇國際B座1901室
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