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    Trymax NEO3000系列自動干法去膠
    Trymax NEO3000系列自動干法去膠
    產品描述
    參數
    【主要應用】
     
    前道:Light Etching;Descum strip;PR Ashing;離子注入后,光刻后,鍍膜前等工藝過程;
    后道/先進封裝/3D IC:Descum Bumping;Plasma Treatment;Wafer Cleaning等。
     
    【主要參數】
     
    ? 2/3上下料機構(300mm)
    ? 5軸機械手
    ? 單射頻源配置(13.56MHz)
    ? 單微波源配置(2.45GHz)
    ? 雙源配置(RF/MW)
    ? DCP雙源(RF/RF)
    ? 適應wafer 200mm~300mm
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    未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
     

    北京

    電話:010-84799262/63/64

    地址:北京市朝陽區酒仙橋路14號兆維大廈6層616室

    上海

    電話:021-64849376 64843544 64757289

    地址:上海市徐匯區漕寶路103號自動化儀表城1101室

    西安

    電話:029-62860558

    地址:陜西省西安市太白南路上上國際1215室

    深圳

    電話:0755-26508560/70

    地址:深圳市南山區武漢大學深圳產學研大樓B213

    成都

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    地址:成都市錦江區東大街芷泉段6號時代1號35A08#

    山東

    電話:0632-5976069

    地址:山東省滕州市北辛街道翔宇國際B座1901室

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    發布時間:2019-08-21 00:00:00

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    北京總部
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